^軸號

^X

^Y

^Z

^X

^Y

^Z

^X

^Y

^Z

^行程

^200mm

^100mm

^100mm

^200mm

^150mm

^100mm

^300mm

^200mm

^100mm

^定位精度

^±0.3μm

^{重復定位精度}

^±0.1μm

^{光柵分辨率}

^50nm

^{最大加速度}

^1m/s

^0.2m/s

^1m/s

^0.2m/s

^1m/s

^0.2m/s

^直線度

^≤±0.5um

^負載

^15kg

^10kg

^15kg

^10kg

^15kg

^10kg

^{MXQT-200-100-100}

^1281mm

^630mm

^567mm

^{MXQT-200-150-100}

^1281mm

^630mm

^617mm

^{MXQT-300-200-100}

^1281mm

^730mm

^667mm