^{臺面直徑（mm）}

²⁰⁰

²⁵⁰

³⁰⁰

⁴⁰⁰

^{電機額定扭矩（n?m）}

^6.2

^6.2

^33.5

⁶⁰

^{最高轉(zhuǎn)速（rpm）}

²⁰⁰⁰

²⁰⁰⁰

¹⁵⁰⁰

⁵⁰⁰

^{軸向額定負載（kg/0.5MPa）}

⁸⁰

¹⁵⁰

²⁰⁰

³⁵⁰

^{徑向跳動（μm）}

^0.15

^0.15

^0.2

^0.3

^{軸向跳動（μm）}

^0.08

^0.08

^0.1

^0.2

^{重復(fù)定位精度（arc sec）}

^±2

^±2

^±3

^±3

^{定位精度（arc sec）}

^±0.8

^±0.8

^±1

^±1

^{驅(qū)動方式}

^{力矩電機+圓光柵（反饋）}