_行程

_ｍｍ

_１００

_２００

_３００

_４００

_５００

_負(fù)載

_ｋｇ

_＞４０

_分辨率

_ｎｍ

_２０

_{重復(fù)定位精度}

_μｍ

_{±０．０８}

_±０．１

_±０．１

_{±０．１５}

_{±０．１５}

_{絕對(duì)定位精度}

_μｍ

_±０．２

_±０．４

_±０．４

_±０．５

_±０．５

_速度

_ｍ／ｓ

_１．５

_１．５

_１．５

_１．５

_１．５

_加速度

_Ｇ

_１

_１

_１

_１

_１

_{位置穩(wěn)定性}

_ｎｍ

_２０

_２０

_２０

_２０

_２０

_{行走平面度}

_μｍ

_{＜±０．５}

_{＜±０．５}

_{＜±０．８}

_＜±１

_＜±１

_直線度

_μｍ

_{＜±０．５}

_{＜±０．５}

_{＜±０．８}

_＜±１

_＜±１

_俯仰

_{ａｒｃｓｅｃ}

_±１

_±２

_±３

_±４

_±５

_偏擺

_{ａｒｃｓｅｃ}

_±１

_±２

_±３

_±４

_±５

_橫滾

_{ａｒｃｓｅｃ}

_±１

_±２

_±３

_±４

_±５